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开云app官方下载 光驰科技请求靶材缓存安装及真空惩处设备专利, 幸免了真空腔室里面环境出现劣化

2026-05-03
国度学问产权局信息披露，光驰科技（上海）有限公司请求一项名为“一种靶材缓存安装及真空惩处设备”的专利，公开号CN121951461A，请求日历为2026年2月。
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