国度学问产权局信息披露，光驰科技（上海）有限公司请求一项名为“一种靶材缓存安装及真空惩处设备”的专利，公开号CN121951461A，请求日历为2026年2月。

专利摘要披露，本发明触及真空惩处手艺领域，公开了一种靶材缓存安装及真空惩处设备。该靶材缓存安装包括缓存腔室、碎裂组件和输送机构；缓存腔室建立有大气碎裂门；至少部分输送机构设于缓存腔室内；输送机构的启动端可拆卸一语气于靶材单位的一端，用于启动靶材单位的另一端穿过碎裂组件干涉或脱离真空腔室。本发明中在碎裂组件分隔缓存腔室和真空腔室后，轻侮物不会干涉真空腔室内，幸免了真空腔室里面环境出现劣化，开运体育中国官网入口与此同期，使用缓存腔室暂存靶材单位并合作输送机构启动靶材单位转移，唐突留心靶材单位固定占用真空腔室的空间，幸免了靶材单位崎岖其他真空惩处源的使命旅途，开云app下载进而幸免对基材的真空惩处后果变成影响。

天眼查贵寓披露，光驰科技（上海）有限公司，开辟于2000年，位于上海市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册老本80000万日元。通过天眼查大数据分析，光驰科技（上海）有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标名堂41次，财产陈迹方面有商标信息19条，专利信息377条，此外企业还领有行政许可49个。

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